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飛秒激光微納制造技術(shù)
點擊量：1630 日期：2022-06-28 編輯：硅時代
飛秒激光微納加工制造技術(shù)是以微電子，微光學，微機械為核心的，集現(xiàn)代光學，電子學，材料學，激光技術(shù)，精密機械，計算機技術(shù)等多門技術(shù)于一體的，是飛秒激光應(yīng)用技術(shù)領(lǐng)域的研究重點。就目前各個大學的研究現(xiàn)狀來看，飛秒激光微納制造目前已經(jīng)形成了各自不同的激光與物質(zhì)相互作用機制，具體包括微爆炸機制，熱熔機制，色心與缺陷機制等等。中國科技大學在飛秒激光雙光子光聚合微細加工研究方面具有代表性。
