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MEMS加工的加速度技術

點擊量：1571 日期：2021-11-18 編輯：硅時代

　　MEMS加工的加速度傳感器是一種能夠測量加速力的電子設備。加速度計目前有兩種：一種是角加速度傳感器，也叫陀螺儀；另一種是線加速度計。

　　加速度傳感器的原理隨著其應用不同而出現不同類型的加速度傳感器，其分類有壓阻式，電容式，壓電式，諧振式，伺服式等。

　　壓阻式是較早的微型化和商業(yè)化的一類加速度傳感器。其加工工藝比較簡單，主要采用注入、推進、氧化的工藝來制作壓敏電阻；采用KOH腐蝕來制作質量塊并使用AES來釋放梁和質量快，最后采用鍵合工藝來得到所需的“三明治”結構。
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